介绍了新型共平面精密二维平台的机械设计与精密测量系统的研发.机械结构引入共平面理论,使得X方向和Y方向的导轨面在同一高度平面,减小了Z向阿贝误差和累积误差,兼顾对称设计,减小力变形、热变形;研制出高精度线性衍射光栅干涉仪,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合信号细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.

描述了一种用神经网络技术实现的高精度光栅测量装置.该装置采用BP神经网络对光栅信号进行细分,在仅用7个训练样本的情况下,细分精度可达0.18*'μm,使装置的分辨率得到很大提高,同时,简化了硬件设计,提高了系统的可靠性.