研究了光学坐标测量系统三维精密视觉测量方法,对其核心技术数字成像器件模型及标定方法、辅助靶标技术以及高精度亚象素图像处理算法进行了深入的讨论,并提出了详细的解决方法.经实验证明,这些方法切实可行,达到了所要求的精度,从而为光学坐标测量系统的设计提供了可靠依据.

当前激光干涉仪的信号处理系统主要采用单片机技术和4细分辨向电路，存在硬件电路复杂、易受外界干扰、难以实现复杂算法等问题。因此，提出了将DSP技术引入到激光干涉仪的信号处理系统中，设计了一种用于处理干涉条纹信号的专用电路。具体研究了改进的8细分算法，并给出了系统的主要程序。实验结果表明，基于DSP的激光干涉仪具有电路简单、功能强大等优点，进一步提高了激光干涉仪的测量精度和分辨力。

文章分析了精密测量过程中使用的滑动和滚动导轨的运动特性,尤其是滚动导轨的运动特性.探讨了影响导轨运动精度的因素,这对在测量过程中提高导轨的位移分辨率,从而提高运动件的定位精度及测量系统的测量精度有着实际意义.

微电子学线路、微系统工程以及使用原子力显微镜和扫描隧道显微镜的一系列测量任务,均要求纳米级的高精度定位装置。然而,每一种测量装置必须具备良好的环境条件及适当的测量技术方能很好地发挥作用。只有注意以下几点,才能得到良好的结果。

单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术,是目前国际热点研究领域.本文综述了包括我国在内的国际单晶硅球密度测量的最新进展,涉及硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等,分析了硅球密度测量的主要难点和关键技术,预测了相关研究的技术前景及发展趋势.

分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素，研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术，有效地提高了测量精度，实测结果表明，文中讨论的技术能在１０￣５０μｍ的范围内实现正负０．１μｍ的重复精度，分辨力优于０．０１μｍ。

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作怀精密测仪，它采用一稳频双纵模激光作为光源，其拍频步率在６００ＭＨｚ－１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００－３００ｍｍ，稳定度为１×１０＾７－１０＾－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节间距离的分辨为０．０００１ｍｍ。

用ＣＣＤ器件对望远系统放大率进行测量，结果表明这是一种有较高精度的望远比方和大率测量方法。

数据采集卡是精密测量仪器中不可缺少的部分,它主要完成数据的采集、变换、运算、传输等工作。目前,PCI总线是计算机中最常见的总线,为充分发挥PCI总线在数据传输中的优点,文中介绍了PCI9054接口芯片的特点与功能,并给出了一种基于PCI总线的数据采集卡方案。

本文分析圆度仪不能正确测量半径值的原因 ,提出一种比较测量的方法 ,有效地消除了圆度仪测量半径不准确的因素 ,实现了用圆度仪精密测量半径的功能 。