精密测角仪

　　在光学零件(如棱镜、多面镜、五棱镜等)加工、检测过程中，需要知道各面之间的夹角，如对角度的精度要求高，则对检测仪器同样要有高的精度要求，目前国外高精度测角仪(如德国MOLLER等)基本是采用精密光学度盘配上自准直光管来实现，光学度盘的刻线数越多，加工难度越大，所以测角仪精度不是很高(如MOLLER提供最高精度单次测量误差才，多次测量平均误差O.6)。

　　多齿分度技术因其平均效应而能获得很高的分度精度，目前在国内角度测量方面运用较广泛，如能将多齿分度技术引人到测角仪中，能提高测角仪的测角精度。

　　1仪器结构及原理

　　仪器结构如图1，由多齿分度台l、多齿分度台2、数显自准直仪3和升降工作台4组成。

　　多齿分度台1为720齿，多齿分度台2为391齿，两者做成一体构成差动多齿分度台，等效281520齿多齿分度台，能提供最小到4.6’’角度标准，其各小角度对应720和391多齿分度台位置如表1，数显自准直仪3则对4.己内小角度进行细分，从而提供0一360。高精度角度标准，对光学零件进行测量。

　　根据表1中各多齿分度台位置可以看出，要想实现任意角度，靠人工操作是很难的，只有通过计算机控制多齿分度台转位，才有实用价值，我们用步进电机控制多齿分度台的升降和转位，转位控制流程如图2，由于使用720多齿分度台，最小刻度30，，只要差动出土巧’即土吠盯子，其余由720多齿分度台直接提供。

　　2仪器测角不确定度分析

　　(l)仪器误差来源由多齿分度台1的分度误差、多齿分度台2的分度误差、数显自准直仪的示值误差组成。

　　(2)多齿分度台1分度误差峰峰值。二0.扩，服从均匀分布，则

　　(5)自准直仪读数引起的不确定度的评定

　　自准直仪有效分辨力口为0.1，其量化误差以等概率分布落在半宽度为0.1“/2二0.05”的区间内。由于两次读数值才得到一个角度值，故量化误差影响两次，则标准不确定度

　　(6)各分量之间相互独立，其合成标准不确定度及自由度

　　(7)扩展不确定度

　　3结论

　　该仪器能提供任意角度的标准角，测角扩展不确定度达0.3”。