本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。

ＬＩＧＡ工艺技术包括光刻、电铸和塑铸３个重要环节。而深层同步辐射光必掩膜技术是Ｘ射线光刻应用的关键之一。我们采用聚酰亚胺为衬基，以电铸金结构为吸收体，制作出了Ｘ射线掩膜，并进行了深层同步辐射Ｘ射线光刻实验研究。

给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法.利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系.用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜.该组合透镜由40个平凹折射单元依次排列而成,相邻的两透镜单元彼此相切,凹面半径分别为200 μm,400 μm,500 μm,600 μm,700 μm.此外,X射线组合透镜的表面粗糙度测试结果表明,粗糙度均方根值小于50 nm.

随着微加工技术的发展和日益成熟，微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比，基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势，可广泛应用于生物、化学、医学等许多领域中对微弱辐射信号的探测。介绍了几种类型的调制光谱仪的结构特点和关键技术，分析了设计与制作微型调制光谱仪过程中存在的一些关键问题与难点，并总结了该领域的研究进展和发展趋势。