介绍了应用光学干涉原理测量棱镜光学平行差的方法。棱镜可等效展开为玻璃平板,其入射面与出射面的光程差恒定,通过波长调谐方法,改变等效玻璃平板之间的位相差,从而用移相干涉术测量了光学棱镜的光学平行差。介绍了一种立方体玻璃90°偏差测量的新方法,斐索干涉仪的测试光束以45°入射到立方体玻璃内,入射波面经立方体90°二面角自准直反射,与干涉仪参考波面相干形成干涉图。分析了干涉波面与立方体玻璃二面角误差之间的关系,并通过移相式干涉仪给出了实测结果。

叙述了自行研制的移相式泰曼-格林红外干涉仪的工作原理。针对红外光不可见的特点,利用可见光和红外光的共光路调试技术,解决了精确定位红外光路的难题,设计出一套红外干涉仪的调整方案。分别对平面镜、精磨粗糙平面和精磨粗糙球面的面形进行了测试,并使用四步移相算法还原被测波面,给出了结果数据和二维等值图、三维立体图;所测平面镜和精磨粗糙平面的面形偏差为0.077λ（PV）,精磨粗糙球面面形偏差为0.520λ（PV）（λ=10.6μm）。结果表明：仪器干涉系统光学质量优于λ/25,重复性优于λ/200,（λ=10.6μm）。

针对测量设备中存在的温漂问题,本文提出了一种软件补偿算法,来降低温漂。文中详细介绍了补偿算法的原理。此算法已在实践中得到证明。能够较好地解决测温设备中的温漂问题。

介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。

压电晶体(PZT)光学移相器作为移相干涉仪(PSI)的关键部件，其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因——类进动，其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法。得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式，给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析，由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。

利用数字波面干涉仪对光学球面曲率半径进行直接测量和间接测量,分析了2种测量方法的误差来源及测量精度,给出了方法的适用范围和局限性.结果表明,基于光栅尺的直接测量方法的精度受限于齐焦位置与猫眼位置的判读精度,其测量不确定度在10~70μm的范围内,与f数相关并与球径仪的测量精度相当;利用平面干涉仪测量球面波矢高后间接计算曲率半径的方法适合f数大于1 000的长曲率半径的测量,其精度为0.8~0.3m,与干涉仪的标准平晶平面度和测试稳定性密切相关.通过提高标准平晶的平面度和控制测量环境,针对口径6mm、曲率半径9m的激光陀螺反射镜进行的曲率半径测量精度达到0.05m,与ZYGO NewView7 000 3D型表面轮廓仪的测试结果差异为0.03m.

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量.

液压与气动技术这门课是工业机器人专业的必修课,工业机器人专业的学生在二年级第一学期开设,这门课程为工业机器人的后续学习打下基础。为了学生能更好地理解各组成元件的工作原理,能更好地培养学生的实际应用能力和创新精神,采用慧鱼创意组合模型,它能够将多门课程有机地结合在一起,利用其元件可以自由拼接的特点,学生可以根据所学,搭建各种系统,使学生把所学知识变得系统化、立体化。

针对飞机翼身对接过程中,叉耳式交点接头因装配变形而发生干涉的问题,提出基于关键点距离检测的装配干涉判断方法.根据对接前叉耳接头上的现场实测数据,计算接头在装配坐标系下的位姿并建立耳型接头和叉型接头的坐标变换关系,通过投影方法计算并归纳出接头的距离极值点,求出叉耳接头间最小距离.综合考察各个叉耳接头处的最小距离,判断干涉情况,提出在多种叉耳接头布局方式下的机翼位姿调整方案.该方法将三维距离问题转化为有限个点的检测问题,能够快速实现在任意机翼位姿下的翼身对接干涉检测和机翼位姿修正.仿真验证结果表明该方法的有效性.

谐波齿轮减速器的间隙空程来源复杂,是影响机构运动精度的主要因素。根据谐波减速器的工作原理分析,引起间隙空程的主要因素是零件扭转变形(柔轮和输出轴)、柔轮刚轮齿侧间隙和柔性轴承的径向游隙;运用渐开线、材料力学和刚度等理论,建立了间隙空程与上述因素的数学模型;开展了某种谐波减速器的间隙空程测试,实测结果与理论计算值吻合。