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MEMS微拾振器制备工艺研究

作者: 方华斌 刘景全 董璐 陈迪 蔡炳初 来源:电子元件与材料 日期: 2024-08-07 人气:10
MEMS微拾振器制备工艺研究
采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。

MEMS微拾振器制备的工艺研究

作者: 方华斌 刘景全 董璐 陈迪 蔡炳初 来源:电子元件与材料 日期: 2024-04-16 人气:9
MEMS微拾振器制备的工艺研究
采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。

用微型计算机实现体内反搏控制

作者: 樊兆勋 陈迪 来源:上海交通大学学报 日期: 2023-08-11 人气:3
用微型计算机实现体内反搏控制
本文介绍了用微机控制体内反搏系统,论述了其理论依据和实验观察结果,指出微机控制体内反搏的关键问题是心脏收缩信号和舒张信号的获得。

碰摩微转子系统非线性动力特性研究

作者: 张文明 孟光 周健斌 陈迪 冯建智 来源:机械强度 日期: 2023-05-16 人气:3
碰摩微转子系统非线性动力特性研究
微型旋转机械是MEMS(micro—electro—mechanical system)中的主要驱动之一,微转子作为系统的主要驱动部件,其动力学特性直接影响整个系统的稳定性和可靠性。文中以Jeffcott微转子系统为研究对象,建立微转子系统的碰摩力学模型和系动微分方程,应用现代非线性和转子动力学理论,以偏心量为分岔参数分析微转子碰摩时的振动响应与非线性动力特性,并以实验结果讨论偏心量对微转子系统动力特性的影响。

PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究

作者: 方华斌 刘景全 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 来源:花炮科技与市场 日期: 2023-04-14 人气:8
PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础.

基于轻量化的生活垃圾压缩箱体结构优化设计

作者: 游颖 陈迪 王君 汪泉 魏琼 游宇峰 来源:现代制造工程 日期: 2021-06-17 人气:188
基于轻量化的生活垃圾压缩箱体结构优化设计
地埋升降式压缩垃圾站是一种新型的城市生活垃圾中转站。为了提高其垃圾压缩箱体(简称箱体)的综合力学性能,达到轻量化的目的,以加强筋板的布置和箱体壁厚作为设计变量,设计了三种不同的加强筋板布置方案。采用ABAQUS软件进行有限元分析,优选出最佳设计方案。分析结果表明:在满足箱体工况(箱体材料许用应力为150MPa)的条件下,其质量减少了715.8kg,可实现箱体轻量化设计。

基于MATLAB Robotics Toolbox的UR5机器人轨迹规划与仿真

作者: 王君 陈迪 陈红杰 任军 游颖 魏琼 汪泉 来源:机床与液压 日期: 2021-04-26 人气:164
基于MATLAB Robotics Toolbox的UR5机器人轨迹规划与仿真
为了解UR5机器人实时轨迹变化情况,根据Denavit-Hartenberg参数法在MATLA BRobotics Toolbox中利用Link函数建立了UR机器人的三维数学模型,对UR5机器人进行了正、逆运动学求解与理论分析,推导出各个关节角之间的变化关系;利用三次多项式插值法对任意PTP(点到点)之间的空间轨迹规划进行理论分析,并结合MATLABRobotics工具箱对UR5机器人数学模型进行了空间轨迹规划和仿真,得到了连续变化的轨迹曲线。仿真结果验证了机器人运动学模型的正确性和合理性,为UR系列机器人的进一步研究和应用提供了理论依据。

长沙某高校土壤源热泵热水系统设计及经济性分析

作者: 陈迪 韩杰 吴海平 陈海峰 张国强 来源:流体机械 日期: 2020-08-25 人气:203
长沙某高校土壤源热泵热水系统设计及经济性分析
介绍了长沙某高校土壤源热泵热水系统设计,基于费用效果分析法,与空气源热泵热水系统经济性进行了对比分析,表明该系统虽然初投资较高,但是运行成本低,节能减排效果明显,阐明了合同能源管理运营模式在推动高校热水系统建设中的优势。
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