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抗高过载加速度计微结构的设计与分析

作者: 王伟 陈丽洁 贲庆玲 邵宪辉 陈昕 来源:计量与测试技术 日期: 2024-04-03 人气:49
抗高过载加速度计微结构的设计与分析
介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面。用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证。验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g。
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