运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作.

介绍了多晶硅薄膜厚度测量的多种方法，并分析了它们的特点及存在问题，指出选择测量方法和仪器应注意的问题。