利用光学显微镜及电子显微镜对不同热处理阶段的磁棒进行金相组织观察，发现经过多级回火，强磁性相α1长大，弱磁性相α2的量相对减少。且两者相对比例不同所表现出的磁性能也不同。同时发现磁性能低的磁棒金相组织中存在白色析出物，推断为合金化学成分不均匀造成的，通过调整回火工艺及固溶处理工艺得出：1200℃保温30min固溶处理且采用5级回火工艺时能够使矫顽力稳定在17．90kA／m附近，完全满足客户的要求。

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上，通过引入热膨胀系数更大的聚合物，提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件，对其基本结构形式进行了系统的仿真分析，得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明：新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术，成功制备了新型复合结构电热微驱动器。