一种新的大平面平面度测量方法
针对大平面度测量,设计一种新的平面度测量系统,该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等,而是以液面作为一个平面基准,用干涉仪标定出测量系统的系统误差,然后用接触式传感器测量被测件,再进行误差分离,将系统误差从测量误差中分离出去,从而达到对大平面度的高精度测量。
基于FLUENT的液体动静压轴承油膜特性的分析
分析影响动静压轴承特性的因素,使用计算流体动力学软件FLUENT对液体动静压轴承的特性进行研究,得到动静压轴承压力场及温度场的分布,并进一步分析其特性与各影响因素的关系。
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