对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。

采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径.介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块320 mm×320 mm×35 mm和320 mm×320 mm×48 mm UBK7材料的工艺实验样品.加工结果是,透射元件获得了镀膜后双次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)的结果.

设计加工了一个由484块单透镜组成的大口径阵列透镜，并设计了一套光束波前采样及测量实验系统。在实验过程中，合理匹配了阵列透镜波前采样器、CCD、成像屏和图像采集处理各系统参数，并讨论了该系统的动态范围和采样精度。利用平行光标定了该系统，且测量了大口径波前的像差，测量值与理论值相吻合。实验证明了阵列透镜波前采样器用于波前采样的技术可行性。

在总结前人研究成果基础上,利用Matlab优越的简易编程、数据处理和可视化绘图功能,通过对几组不同比转速水泵的全特性数据进行分析,提出了一种将水泵全特性曲线处理为三维曲面可视化的方法。经对比检验,用预测模型生成的数据具有较高精度。