叙述了几种大平面平面度的测量方法，分析了间接测量法，激光双光束扫描法，激光准直扫射法，衍射平面基准法，液面法等几种方法的特点及其测量误差。

分析了水平仪、自准直仪、激光准直仪等几种主要的直线度误差测量仪器的测量数据类型,结合直线度误差的角差和线差两类测量方法以及直线度误差评定的两种精确算法进行了软件开发.实验结果表明该软件不仅具有运算精度高、运算速度快的特点,而且可与多种直线度误差测量仪器配合使用.

提出一种精密测量大孔同轴度的新方法,采用单模光纤的尾纤半导体激光器的准直光束作为测量基准线,单模光纤对光束模式的严格限制可使准直激光束的方向稳定性达到1.5×10-6/小时.分析了高斯光斑中心坐标的几种数值计算方法,指出重心法对光斑的光强分布缺陷不敏感,在实际应用中更为稳定.通过对孔的圆周进行数据采样,计算出孔的多个截面的光斑中心坐标并拟合出孔的中心线,即可计算出孔的同轴度.

以起重机轨道作为研究对象，研究了一种高精度、可自动化测量和实时在线分析的大长度轨道直线度的测量方法和装置。该方法利用准直激光束作为直线基准，携带光斑位置探测装置的小车行走于轨道上并根据激光光斑位置确定轨道测量点的偏差参数。光斑位置探测装置由一个接收屏、光路成像系统和一个二维PSD组成。针对300m长的起重机轨道的直线度测量，分析了装置的测量原理、数据处理方法，以及控制系统结构。并通过精度分析和误差评估证明了该方法和装置的可行性，仿真计算结果表明其原理误差仅为10^-5mm数量级，完全符合大长度轨道的测量要求。

研制了采用准直激光束作为测量基准轴线、矩阵CCD光电器件作为位置传感器、由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度自动检查仪。介绍了系统结构原理以及空间直线度误差的最小二乘评定法数学模型。

提出了两种测量轴-轴同轴度的方法,均采用激光准直技术,同轴度测量仪的光电测量部件由准直激光源和位敏探测器组成.

为了解决长导轨直线度传统测量方法中存在的问题，研制了一种基于楔形板的便携式激光干涉准直系统。系统采用16位高性能单片机MSP430进行数据处理，利用软件滤除测量数据中包含的交流信号，然后再通过D／A转换器对处理电路进行反馈控制，以消除光电信号中包含的不断变化的直流电平信号，从而提高系统的测量精度。系统的测量数据通过无线模块实时地发送给与PC相连的无线基站，再通过USB接口传送给PC，可以方便测量数据的记录与保存。

针对传统激光准直技术的缺陷,介绍了一种基于楔形光学玻璃板的激光干涉准直技术的工作原理、软硬件设计、软件细分原理及其特点,给出了系统的主要技术指标,实现了系统的高精度、数字化和小型化.

提出了一种激光准直性的判断方法.通过一块光栅和直角棱镜,使光栅产生的Talbot像与光栅自身产生Moire条纹,通过判断Moire条纹的取向来检验激光的准直性.

针对液压缸零件直线度误差检测困难的现状，提出一种通过测量液压缸截面弦长确定截面圆心评估液压缸轴线直线度的方法，以激光作为直线度误差评定的参照直线，设计了一种基于气动检测与激光准直的直线度检测装置；分析了喷嘴曲面挡板模型下的气动检测方案，分析了PSD位置敏感传感器的空间位置，并提出了利用PSD位置敏感传感器分离误差的方法；利用该装置进行了直线度误差检测，检测过程稳定，能够满足要求。