建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型,推导出微机械连续薄膜变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式,利用该公式、静电力表达式和弹性支撑的回复力分析了变形镜的稳定工作驱动、不稳定工作驱动和最大变形位移,讨论了变形镜的结构参数对变形位移的影响.所得结果对于设计微机械连续薄膜变形反射镜具有重要意义.

数字散斑干涉技术是一种非接触，全场测试的光学测试方法。用数字散斑干涉术时间平均法测得的物体表面稳态振动，可描述为受高频分量调制的零阶Ｂｅｓｓｅｌ函数。文章提供一种在数字散斑时间平均法测振中使用的相移方案，以消除条纹图中的背景分量，使条纹仅与振幅有关，阐述了此方案的原理，并给出实验的结构和结果。

研制成一种小型、便携式、低值、对人眼安全、无合作目标的 Ｌ Ｆ１ 系列半导体 Ｌ Ｄ 激光测距仪。工作波长为９０５ ｎ ｍ ；测距范围是１４ ｍ ～１ ０００ ｍ ；测距精度小于±１ ｍ ；重复频率为１００ Ｈｚ 。有多种工作模式，具有省电功能。它的测距能力优于国内外同类低值 Ｌ Ｄ 激光测距仪。本文从光子测距方程、系统结构、信噪比分析角度，讨论了系统的测距能力

利用单缝夫琅和费衍射装置，通过转动来使组成狭缝的一个棱边与另一固定棱边形成分离间隙，进而使观察屏上的衍射条纹出现不对称分布现象。用最小二乘法对由线阵CCD测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合，并由拟合得到的数学表达式，确定衍射条纹的精确位置。推导出转动棱边在转动平面内两个相互垂直方向上的位移与观察屏上衍射暗纹位置之间的关系式，并利用它对转动棱边的转角进行计算。实验结果表明，新的测量方法可以实现小转角的高精度测量，转角的测量不确定度可达4．2″。

在比较了各种光纤测速仪的特点之后，提出了一种基于激光束反射原理，一路发射多路接收的全光纤测速系统，并详细介绍了系统的原理和结构。由于采用多根光纤回路及准直透镜，本系统不仅可以获得良好的出射光束，还可以将漫反射信号通过透镜会聚到后焦面的多根接收光纤中，从而扩大了接收口径，增强了接收光强。实验与理论分析表明，该系统具有较大的测速范围，稳定性好，可以对远距离运动目标进行有效测速。

介绍了一种基于FPGA的傅里叶变换光谱仪动镜速度测量系统。该系统利用迈克尔逊干涉仪,通过光电转换将干涉条纹转换为干涉脉冲电信号,用干涉脉冲计数的方法测量动镜的运动速度,采用FPGA实现了干涉脉冲的数字滤波、动镜运动方向判别、干涉脉冲计数并利用FPGA片内RAM实现了数据的实时存储,具有实时性好、集成度高的优点。给出了实测的动镜速度曲线。

介绍了一种用于覆铜板厚度检测的光电式非接触测量装置及其工作原理。每个测量点由上下一对测量探头和一套检测处理电路组成。其中，测量探头由一个半导体激光器作光源，面阵ＣＭＯＳ图像传感器按场进行采集，经检测处理电路处理得到物体的位置，再由计算机计算并显示被测物件的厚度。该系统具有测量精度高、体积小、成体低、易扩充测量点等特点。

将空气劈尖的等厚干涉原理与CCD图像处理技术相结合，提出了一种对材料杨氏弹性模量进行高精度自动测量的新方法。该方法利用待测试件受力产生的形变改变空气劈尖顶角，并用一元线性回归方法对CCD的像元序号与所接收到的干涉条纹光强极大值序号之间线性关系进行拟合，进而确定出空气劈尖顶角大小。由导出的杨氏弹性模量与空气劈尖顶角变化量之间的关系，对待测试件的杨氏弹性模量进行了计算。测量结果表明，新的测量方法是可行的，测量相对误差为1．5％，而且测量系统具有高精度、高灵敏度的特点，可广泛应用于各种微小形变的测量。

利用恒温控制平台,通过测量干涉光电流和干涉仪两臂光电流的方法,实现了对全光纤干涉仪两臂初相位差的测量。这种方法不同于传统的步进相移法,不需使用压电晶体（PZT）等移相器,操作简单。实验结果有很好的重复性,精度约为0.04°。

提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散，在有效反射率中引入了损耗因子，讨论了它的基本工作原理。为了提高测量精度和最小可探测距离，光纤控头固定在一个ＰＺＴ上作可控调制。用屯喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态２，进行了数据处理和讨论。