为实现高密度LED焊线机上邦头运动轨迹的精确跟踪,降低因其轨迹偏差而产生的废品率。提出了一种基于迭代学习做前馈控制的前馈+反馈二自由度控制算法。首先对音圈电机进行机理分析,建立了其数学模型,以此为基础,给出了音圈电机轨迹跟踪的整体控制方案,并且结合焊线机上邦头超高加速度(>20g)和整定时间短的运动特点后设计了带遗忘因子的PD型闭环迭代学习控制算法。对所提出的带遗忘因子的PD型闭环迭代学习控制的收敛性进行了理论分析,并且通过MATLAB中的SIMULINK模块进行了动态仿真,验证了该算法下的音圈电机系统响应速度显著提升,位置误差的收敛稳定可靠,改善了高密度LED焊线机上邦头的轨迹跟踪性能。

基于永磁直线电机(PMLM)的龙门式运动平台广泛应用于芯片封装领域,但由于两PMLM间存在横梁机械耦合,因此较难实现系统的快速响应和精准同步。以龙门运动平台为研究对象,设计三环闭合控制回路后,提出一种基于模糊前馈的控制策略,同时辅以交叉耦合同步控制器,实现系统的快速同步性能。对传统PID同步控制和基于模糊前馈的同步控制算法进行对比分析,仿真结果表明:模糊前馈控制阶跃响应的上升时间为48.5 ms,比传统PID控制缩短了65%;交叉耦合同步算法在保证定位精度的同时,使得系统具有良好的同步跟随性能和较强的抗干扰能力,基本满足芯片封装高速高精度的要求。

晶圆级倒装装备中伺服直驱轴由于机械振动因素的存在,导致伺服系统的带宽难以满足设备中伺服直驱轴高加速度与高精度的使用情况。为了抑制振动、提高伺服系统的带宽,设计一款陷波滤波器并将其应用在晶圆级倒装装备的伺服控制系统中,通过实验,证明经过滤波器处理之后的伺服直驱轴的带宽大大提高,并且其稳态误差在微米量级时其整定时间也能低至毫秒级别。

针对伺服系统中常用的比例-积分-微分(PID)控制器的参数手动整定不方便的问题,对机器学习算法和模糊控制进行研究,重点分析反向传播(BP)算法和模糊控制器的设计方法,提出一种基于机器学习和模糊控制的PID参数整定方法。利用BP神经网络的学习能力得到系统模型,结合模糊控制进行预测得到PID参数,并在实验平台上进行验证。研究结果表明:通过机器学习和模糊控制得到的PID参数具有较好的控制效果,该方法能够避免手动整定PID参数,节省大量时间。

以电液伺服系统理论和流体动力学为基础，对离心环境中电液伺服系统的关键环节－电液伺服阀进行了分析，推导出离心环境中单喷嘴和双喷嘴挡板阀的受力公式，理论分析与实验数据对比得出如下结论，对单喷嘴挡板阀而言，离心力既影响液动力大小，又影响其负刚度；而对双喷嘴挡板阀而言，离心力影响双喷嘴挡板所受的液动力大小和转动力矩大小，从而影响以嘴挡板伺服阀的零漂，但离心力不影响液动力的负刚度，离心力对伺服阀二级阀芯（滑

从考虑电液伺服系统的非线性和参数的时变性出发，建立了电液伺服系统的完整模型。并采用了一种改进的变尺度多调整因子模糊控制器控制。仿真结果表明此控制方法能有效控制此时变电液伺服系统模型。

针对普通的模糊控制器不能克服系统静差的不足，本文提出了三种模糊控制器的积分改进方法。这三种方法分别对应三种控制器，即三输入模糊控制器、模糊PI控制器和模糊并积分控制器。将此三种控制器应用于某零型一阶系统和某I型五阶电液伺服系统，均能克服系统的静态误差。其中三输入模糊控制器的性能最优。

近年来离心和振动复合环境在航空航天、土木工程等领域受到越来越多的重视国外对该环境进行了一些研究国内的研究还刚起步.本文建立了离心力作用下电液伺服振动台的系统模型并采用了鲁棒H∞控制方法.仿真表明该方法对离心力场中的电液伺服振动台具有很好的效果.