对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到的结果为例,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系.

在分析接触式轮廓测量仪误差的基础上，以最小二乘法为基本数学理论，提出了一种能同时校正由于非球面镜放置时存在的X、Y方向的倾斜、Z、Y、Z方向的偏心，曲率半径不准确、以及由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之问随机的微小偏移所造成的测量误差的数学模型。数学模拟表明，该模型在校正上述误差源上具有极高的精度，对1cm以下的偏心和0．1°以下的倾斜可无误差地恢复，对曲率半径的恢复也极为有效。实际工程应用的结果表明，模型是可靠有效的，为接触式非球面轮廓测量提供了一个宽松的镜子放置条件及自动拟合最佳曲率半径的功能。特别是自动校正由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之间的随机微小偏移所造成的测量误差的功能提高了测量仪的测量精度和测量结果的重复性。

介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法.给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果.

计算机辅助装调技术是通过计算机对理论和实时检测结果的分析计算来有效地指导装调技术，本文通过计算机对由柱面反射镜组成的红外反射护速系统的各种调整自由度的详细分析，以及在检测时对结果的实时分析，可确定合理的检测方案，有效的减少了调整时间，得了理想的结果。