为了改善电感测微仪测头的动态响应性能，找出测头的临界脱离频率，对影响测微仪测头临界脱离频率的因素进行了理论分析，并通过试验台对测头的刚度、质量及预压量等因素对其产生的影响进行了验证。试验结果表明：在对电感测微仪测头的设计中，合理增加刚度和预压量、减少活动部分的质量可以提高测头的动态响应性能。

随着测量速度的提高,测微仪测头的动态性能已经成为影响测量精度的重要因素.本文通过对测头进行模型简化,就接触式动态扫描测量时测头与工件的脱离问题进行了深入的理论分析.给出了两者临界脱离时工件振动频率与传感器(测头)固有频率的理论关系,同时分析了影响理论脱离点的因素.为改善测头的动态响应性能提供了重要的理论依据.