为提高压电泵的输出性能,设计了两种结构的三腔并联压电泵。一种采用“层叠式”结构,另一种采用“一字”排列式结构。比较两种结构的体积,“层叠式”压电泵体积为74880 mm^3,“排式”压电泵体积为98928 mm^3,前者是后者的0.75倍。在80 V正弦交流电驱动下,工作频率在40~400 Hz内,对两种结构的三腔并联压电泵进行输出性能测试。可得,两种结构压电泵最大输出气体流量可达3405 mL/min,输出液体流量可达708 mL/min,输送液体压力最大可达20.6 kPa。结果显示,三腔并联压电泵可大幅提高泵的输出能力,并且采用“层叠式”结构设计可大幅度减小泵体体积。

为减小双腔并联压电泵的泵体体积，采用新的设计方法设计了一种新型层叠型双腔并联有阀压电泵。将层叠型与一字型双腔并联泵的泵体体积进行比较，前者的体积为38400mm3，后者体积为59904mm3，前者是后者的0.64倍。分别以水和空气为介质对2种结构压电泵进行输出性能试验，试验结果显示：层叠型输送气体流量和输送液体压力好于一字型，最大输送气体流量为3834mL/min，最大输送液体压力为21.2kPa；而输送液体流量不及后者，最大输出流量为744mL/min。结果表明，层叠型结构极大减小了双腔并联压电泵体积，并在输出性能方面有所提高。