讨论了扫描针显微镜作为一种显微工具的优势和不足，介绍了把ＳＰＭ应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于ＳＰＭ的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择，从而引导超精密加工的发展。

提出基于模糊神经融合的自适应模糊分散控制系统，以对超精密机床进行振动主动控制，该控制系统在自适应模糊逻辑的基础上融合了学习过程模糊调整，因而同时具有模糊逻辑和神经网络的优点，实验结果表明，该控制系统能有效地隔离来自基础的低频振动，改善了超精密机床的加工精度和表面粗糙度。

对电磁作动器的动态特性及其对主动隔振系统振动传递率的影响进行了分析研究。振动传递率不仅受作动器动态特性的影响 ,而且还与反馈变量的选取有关 ,这对振动主动控制系统的反馈设计具有指导意义。

分析了时滞现象在以绝对变量反馈和相对变量反馈条件下，对超精密机床 振动主动控 制的影响。在相对变量反馈条件下，通过合适的增益选择，即可保证系统的稳定性，又能大 大降低振动传递率。因而，超精密机床的加工精度得到有效的改善。

惯性器件误差是影响捷联惯性导航系统（SINS）精度的主要原因之一,任何由加速度计和陀螺构建的SINS在使用之前都须进行精确标校,以建立起惯性器件静态误差补偿模型。首先根据三轴加速度计组件的输出建立起加速度计输出模型;然后利用三角谐波的正交特性,设计了1g重力场下的多位置转台翻滚试验,分离出加速度计组件的各项静态误差系数的解析表达式;最后,分析了由基准误差引入的参数标定误差。利用双轴位置转台对标定方法进行验证,结果证明此方法能够有效标定出三轴加速度计组件的刻度因数、交叉耦合系数和零位偏置,满足系统设计指标要求。

本文介绍一种新研制的数字伺服聚焦式弹头发射痕迹非接触三维检测仪的原理、结构、控制以及实验结果.该系统垂直测量范围为±1mm,垂直分辨率为30nm ,聚焦光束直径为1μm,综合性能优于触针式弹头痕迹检测系统.

提出了采用双路激光-CCD进行在线检测的方法,该方法采用激光三角测量原理,用双路激光-CCD同时对零件进行检测,以减小甚至消除自动输料过程中由振动或跳动等因素给零件带来的测量误差.文中给出了激光-CCD测量零件尺寸的原理,对零件运动过程中厚度尺寸的双路补偿原理进行了理论分析;设计研制了该动态检测系统;并用该系统进行了大量的实验研究,实验结果表明该系统对动态零件的尺寸检测精度达到±0.3 μm,能适用于零件在精密加工及自动化输送过程中的高精度检测,具有很好的工程实用性.