通过对三坐标测量机更换测量系统，改进、设计与此相配的机械部分，从而建立误差补偿模型，并进行误差测试，同时利用软件进行误差补偿。结果证明：本误差补偿方法能使测量机的空间精度提高2—3倍，且这种补偿方法简单可靠，为通过误差补偿提高三坐标测量机的精度提供了简单而有效的手段。

本文介绍了一种光面环规的单球测量法的基本原理和操作方法,这种方法的特点是简单方便,精度高,误差小,相对于万能工具显微镜在测量光面环规时有着明显的优越性。

将CCD和光栅尺同时应用于布氏硬度压痕测量,试验证明：系统测量结果基本不受CCD对焦及照明光强变化的影响;测量准确度容易保证,重复性好,自动化程度及效率较高,同时大大缓解了布氏硬度测量中的视觉疲劳。

叙述一款光栅尺数显表的设计,介绍对光栅尺传感器输出脉冲的细分辨向原理。基于该原理,可将光栅尺测量分辨率提高4倍。同时简要介绍了单片机对光栅尺传感器输出数据的处理。该数显表采用计数器芯片计数与单片机对数据处理相结合的技术。具有体积小、成本低、计量准确、结构简单、工作可靠、校准简单等特点。

利用现有的钟罩装置，加装精密光栅尺作为钟罩位移传感元件，并增设多路温度、压力传感器，设计了由计算机和控制器组成的自动检定系统。以控制器研制为核心，详细阐述了信号采集、调理、阀门控制等硬件电路设计和检定数据采集、处理等软件部分设计。

利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是:用一对计量光栅作位移传感器，通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移量。随着光栅刻制技术的发展和莫尔条纹细分技术的不断完善，工业计量领域中的光栅技术得到了飞速发展。

针对目前用CPU实现全数字光栅细分法和用移相电阻链、电压比较器实现的模拟光栅细分法在光栅细分上的广泛应用,提出了一种用FPGA和AD模数转换器件实现光栅数字细分的新方法。光栅输出的两路相位差900的正弦信号,经过AD转换后得到两路正弦信号数字量,对其分别乘以一定比例系数再进行相加减,实现正弦信号的数字等相位距移相。移相后的多路正弦信号在FPGA器件里进行数字电平比较后,得到不同相移的多路方波信号。对这多路移相方波进行一定的逻辑与运算,输出两路正交方波,将这两路正交方波通过普通的带四细分光栅计数器实现光栅细分。

三坐标测量机可对各种零件进行几何元素和形位公差的测量，本文介绍了三坐标测量机的实验内容和方法，以及培养学生能力的实践经验。