近两年出现了新型刻蚀技术,将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常高,其生产都是在国外进行,具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件,提出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案,使用五轴编程软件进行编程,采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴磨削中心,对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明此项加工技术可提高加工效率和产品良率,并减少后续的研磨抛光时间,降低了生产成本。

利用石蜡具有良好的驱动性能设计了一种应用于大型机动车自适应冷却系统的感温阀;为研究该感温阀对温度变化的响应问题,运用数值传热学理论中有限差分的计算方法,建立了其感温元件的二维稳态和非稳态温度场的数学模型,并利用MATLAB软件对这两种数学模型进行了仿真计算。仿真得到感温元件的稳态温度场和一些典型时间的瞬态温度场,通过对这些温度场的分析,得知所设计的感温元件对温度变化的响应能够满足大型机动车自适应冷却系统的要求。

旁路节流调速系统是液压系统不可缺少的一部分,为了更好地了解其系统性能,我们往往对其进行动态特性分析。一般是采用传递函数法建立系统数学模型,但这种方法不但复杂,而且效果不佳。文章采用功率键合图法建立系统数学模型,并利用MATLAB软件进行快速而准确的数字仿真,探讨系统参数对其性能的影响,对研究系统的性能和设计改进具有积极的作用。

建立了以高速开关阀为先导级的阀控缸电液控制系统的数学模型，通过对模型的数字仿真，分析了输入信号及系统参数对输出的影响。

与喷嘴挡板型伺服阀相比,偏转射流伺服阀具有可靠性高,抗污染性强,寿命长和零漂小等优点.在分析了偏转射流伺服阀结构原理的基础上,建立了偏转射流伺服阀及其位置伺服系统的动态数学模型,导出了偏转板流量方程的表达式,提出了偏转板线性化流量方程.研究了电液位置伺服系统的动态特性,构建了仿真模型并对其动态特性进行了仿真研究,仿真结果证明了动态数学模型的正确性,与实验结论基本吻合.

本文以送料机组的受板小车和移载装置的电液比例控制系统为主要研究对象，采用速度传感器检测速度信号，和比例方向流量阀一起构成速度闭环控制，根据实际生产情况完成液压系统的设计，运用现代控制理论的有关知识，对控制系统进行建模，并做动静态分析和数值仿真。

介绍了一种完全一体化设计的内循环数字液压系统,通过对该系统工作原理的分析,建立了系统的数学模型,并结合Matlab编程,利用Simulink工具构建仿真模型,具体分析了该系统的可行性,提出了一种全新的数字液压缸的设计方法。

目前国外企业已在无缝钢管轧机中普遍采用电液伺服压下系统而国内生产的无缝钢管轧机主要采用机械压下方式.为提高无缝钢管压下系统在大负载扰动下的定位精度与动态刚度分别提出了基于伺服阀压力增益特性的负载扰动前馈补偿和抗积分饱和复合控制方案与基于油液压缩效应的动态位置误差流量前馈补偿控制策略.通过AMESim软件建立仿真模型分析压下活塞位移对冲击载荷的响应进而由试验结果验证所建模型的准确性.该文为电液伺服压下系统的设计提供了一定的理论和试验依据。

通过建立较全面的液压出口节流调速系统数学模型应用Matlab软件的Simulink对方程组进行仿真分析系统参数如节流阀开口度、油液体积弹性模量等值的改变对节流调速系统动态特性的影响提出改善系统动态特性的措施为液压系统的设计、液压元件主要参数的选择提供更为准确的科学依据。

为了实现变速周向低应力下料过程中可靠夹紧、送进棒料，设计了相应的液压系统。采用新的建模方法——功率键合图法，建立了新型下料机液压系统的动态数学模型，并用Matlab软件对其进行了动态特性仿真研究。结果表明：管道直径、溢流阀液阻等参数对液压系统中送进缸活塞杆速度和进口压力的影响显著，需合理配置。