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基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究

作者: 肖含立 丁杰雄 华晨辉 陈栋 王宇翔 来源:半导体技术 日期: 2024-07-11 人气:13
基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究
基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以及激光热加工等技术制备分离器,成功制备出腔体深度分别为137μm和200μm的分离器,腔体深度误差均在±2μm以内,腔体表面粗糙度Ra〈10 nm,腔体侧壁垂直度达83°。为MEMS超声分离器的制备提供了一种简便、高效的工艺方法。

高落速条件下红外窗口气动热特性预测研究

作者: 孟奇 陈栋 连细南 来源:兵器装备工程学报 日期: 2022-11-24 人气:150
高落速条件下红外窗口气动热特性预测研究
针对红外窗口在高速下落时容易受到气动热影响的问题,进行气动热特性预测研究分析,通过算例验证和数值模拟方法研究了红外窗口附近流域的温度分布特点,为高速飞行领域红外探测提供建议或参考。

高速飞行条件下红外探测关键技术研究

作者: 陈栋 孟奇 连细南 来源:舰船电子工程 日期: 2022-11-24 人气:148
高速飞行条件下红外探测关键技术研究
适应现代战场需要,红外探测技术被不断延拓应用于军事领域,高速飞行条件下红外探测关键技术日益成为国内外的研究热点。通过归纳分析高速飞行条件下红外探测系统平台、气动光学效应防护、红外图像处理等关键技术,为红外探测技术在军事领域的推广与应用提供参考建议。

复杂结构下的油口管路布置方案

作者: 薛温光 胡昌云 朱武强 陈栋 来源:工程机械 日期: 2022-09-02 人气:132
复杂结构下的油口管路布置方案
液压元件油口的管路接头布置,并无统一的固定原则,主要依据应用功能,结构特征,习惯和工作经验进行,元件不同,结构不同,考虑的侧重点也不同.本文结合某产品前桥的辅助驱动液压马达油口布置的实例,讨论复杂结构下油口管路布置的基本

基于FPGA的矩阵乘法器优化设计

作者: 钟声 侯朝焕 杨常安 陈栋 来源:电子测量技术 日期: 2022-05-23 人气:17
目前FPGA(fieldprogrammable gate array)在许多信号处理领域有了越来越多的应用,其中有不少是应用于矩阵的运算与变换。通过使用新一代FPGA中嵌入的DCM(digital clock manager)模块,可以针对矩阵运算的特点,对实现矩阵运算的硬件结构进行优化,从而大幅的降低在FPGA中实现矩阵运算所占用的硬件资源。本文以3×3矩阵乘法器为例对此类优化设计进行了详细介绍。

码头升降桥液压缸同步控制设计

作者: 陈栋 来源:港口装卸 日期: 2021-11-03 人气:101
码头升降桥液压缸同步控制设计
为使人和车能方便上下大型滚装船,多个码头开始采用液压升降桥。为实现液压缸同步控制桥板随潮水涨落而升降,在分析油缸同步的多种方案基础上,结合升降桥设备的工况特点,提出一种适合升降桥油缸的同步控制设计方案,给出了其计算分析结果。

电控正流量挖掘机功率控制技术研究

作者: 陈栋 颜伏伍 杜常清 来源:机床与液压 日期: 2021-07-02 人气:135
电控正流量挖掘机功率控制技术研究
针对某大型液压挖掘机,进行电控正流量挖掘机技术的研究。建立挖掘机液压系统的AMESim模型以及电控系统的Simulink控制策略模型,重点针对双变量泵的功率匹配控制提出改进全功率控制策略,建立能够模拟电控正流量液压挖掘机真实情况的复杂虚拟样机,并进行联合仿真分析,得到挖掘机系统执行元件的输出特性。结果表明:执行机构在外负载下的运动变化符合实际运动规律,同时通过与分功率控制和全功率控制对比,验证了所提出的改进全功率控制策略优越性

车用空压机在线快速检测的动态修正方法

作者: 金海军 王群京 张志勇 孙晓明 陈栋 孙斌 来源:流体机械 日期: 2020-08-27 人气:73
车用空压机在线快速检测的动态修正方法
针对目前车用空压在线性能测试的要求,文中结合了ASME喷嘴方法及充罐法测容积流量的优缺点,提出了一种新的动态车用空压机容积流量检测方法;采用UnscentedKalmanFilter(UKF)滤波算法,解决了充罐法充罐过程中贮罐压力脉动干扰造成的测量误差;采用基于事例推理(CRB)推理机方法,建立了不同工况下的车用空压机性能测试智能专家系统,实现了实测结果的自动搜索与修正,以及知识库结果真值的自学习;通过对比试验结果表明该方法在短时间内能有达到ASME喷嘴稳态测量的精度,满足车用空压机在线快速检测的要求。

滤油机涡旋真空泵抽气速度理论研究

作者: 张贤明 杨旭 陈栋 王立存 张国进 李福领 来源:流体机械 日期: 2020-08-24 人气:208
滤油机涡旋真空泵抽气速度理论研究
真空度是影响滤油机真空分离系统工作效率的关键技术指标,以往的真空滤油机普遍存在极限真空度不足的现象.涡旋真空泵结构简单,运行稳定,且能在较宽的压力范围内工作,将涡旋真空泵作为前级泵应用到滤油机真空机组中,能为真空机组的主泵创造必要的预备真空条件,从而改善滤油机的整机性能.涡旋真空泵极限真空度受其抽气速度的影响,与泵体自身结构参数密切相关.选取合理的泵体结构参数,设计相应抽气速度的真空泵至关重要.基于涡旋真空泵的工作原理,建立理论抽速模型,通过计算封闭月牙形工作腔的容积,推导出理论抽速计算公式,对于选取泵体最优结构参数具有重要的理论指导意义和工程实用价值.

滤油机涡旋式真空泵的泄漏及密封

作者: 陈栋 张贤明 王立存 杨旭 来源:流体机械 日期: 2020-08-21 人气:90
滤油机涡旋式真空泵的泄漏及密封
动、静涡旋盘之间的泄漏是影响涡旋真空泵抽气性能的重要因素,分析了主要由轴向间隙及径向间隙引起的气体返流泄漏,阐述了相应的密封原理及措施,为涡旋真空泵的优化设计提供新的思路。
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