三坐标测量机的误差校正、检定与改装技术的现状和发展动态

　　三坐标测量机不仅能测量箱体、汽缸盖、活塞、涡轮、叶片、齿轮、凸轮、模具、各种机身型体及不规则空间型面的零件，而且还可以配合数控机床、加工中心和柔性制造系统纳人制造工程，并正在和CAT、CAD、CAM组成联机集成系统以实现设计、制造和检测一体化.本文对目前国外三坐标测量机的误差校正、检定与改装技术的现状和发展动态进行了介绍。

　　1三坐标测t机的误差校正—精度提高

　　三坐标测量机的精度提高是使用微处理机从测量数据中减去已知误差或预测误差的过程。这一过程的依据是:如果测量设备具有已知、可重复的误差，则正确的测量结果可通过从显示结果中减去误差而得到。大多数的量仪是比较式测量装置，它们需要标准零件并且只能测量出工件与标准件之间的偏差.而三坐标测量机则是一种绝对测盆设备.它以三维空间坐标的方式生成尺寸数据，并使用各种计算方法从测点数据集中推导出特征尺寸和位置.

　　三坐标测量机依据其内部的坐标基准确定点的坐标.该坐标基准由三个互相垂直的坐标平面和3个线性位移编码器组成.坐标测量机的精度完全取决于其内部坐标基准的几何构成准确性.通过对坐标测量机几何构成的单个元素进行检侧，可以确定坐标测量机内部坐标基准中存在的不准确之处.

　　1.1误整的补偿

　　三坐标测量机的精度提高可通过使用固定补偿模型或自适应补偿模型，或将两者结合起来完成.

　　固定补偿模型取决于坐标测量机误差的检测结果及所建立的校正表.它用以校正坐标测量机的内部坐标基准中存在的某些不准确之处。如:使用激光干涉仪标定的光栅尺校正值表，可用于坐标测量机光栅尺的线性度补偿。使用插值法可计算表列值间位置校正.该方法的应用还可扩展到对坐标测量机全部21项误差(2l个自由度上的误差)的补偿上.固定补偿模型的精度取决于坐标测量机的重复性、补偿模型的完善化程度以及校准方法的精度。使用固定补偿模型提高坐标测量机精度的主要局限性在于测量机结构的稳定性，若测量机的几何构成发生变化，则原先的固定补偿模型不再有效.

　　自适应补偿模型用于校正坐标测量机随机发生的几何构成上的变化。

　　精度提高的益处在于:提高精度的成本取决于测量机的重复性而不是几何精度.通过精度提高一般可使几何误差减少80%~90%.

　　1.2沮度变化引起几何构成变化的补偿

　　引起三坐标测量机的几何构成发生变化的因素很多，但温度的变化是最大的因素.当温度保持恒定但不是在国际标准温度20℃下时，使用下列方程可容易地对热膨胀效应进行模拟和校正: