KYKY2000型数字化扫描电子显微镜

　　KYKY2000型数字化扫描电镜的主要特点是引人了图象处理功能。整个系统由一台主计算机控制，部件之间使用数字通讯传递信息，使仪器的自动化程度有了很大的提高，其电器系统的简要框图见附图。

　　图中面板控制是由电镜控制面板上的一些按键和光编码器组成，其与主计算机的键盘一起使得整个系统操作简便，可靠性强。电子光学及放大倍数控制系 统主要是由一个280微机来控制透镜、.对中、消象散器、亮度对比度等各种电源及放大倍数，并完成与主机的通讯任务，使得主机能够对电子光学系统做各种自 动控制[1]。编程扫描发生器的核心也是一个280微机，它完全由软件程序来产生多种方式下的扫描信号及数字采集和图象存贮器所需要的同步、数字地址信号，使得在做各种实时图象处理时，扫描发生器能以相应的扫描方式相配合121。系统中加入主放大 器与模拟处理和数字采集与滤波，能实现对视频信号进行模拟的和数字的实时处理，使得显示的图象信噪比有了很好的改善I3]。图象存贮器选用结 构，其中图象层占8bit，图形层占2bit。图象层和图形层可以互不干扰地进行处理或编辑，并通过各自的R.G.B.输出视找表组成图象和图形迭加在一 起的伪彩色输出显示，使观察到的画面清晰稳定。图象存贮器设有数字输人口和模拟输入口，对慢扫描和TV扫描均能适用.系统配有的图象处理软件的菜单形式在 显示CRT上给出，可以很方便地得到对样品的某些感兴趣的数据或曲线，这些结果可以存贮起来或拍照照像CRT既可以对主放大器过来的模拟信号进行照像，也 可以对由主机从磁盘中或图象存贮器中取出的图象经过数模转换(D/A)进行照像。主计算机用来对全系统进行总体控制，是快速进行图象处理和自动控制的关 键，在此选用IBMPC/AT286机做为主机。

　　本工作得到黄兰友、李启珍、张萤等同志的支持和帮助，物质此表示感谢。

　　作者：王克定、马竣、张永明、李明强马秀珍、钱天宇、郑烈阳(中国科学院科学仪器厂)