扫描电镜用计算机数字图象处理系统

　　鉴于国外近年来，，扫描电镜及电子探针等都越来越多地配备一些图象处理方面的附件，大大增强了电镜的使用效果，而国内原有的SEM及EPMA未有些方面的附件，为此我们研究开发了一套适用于各种型号的SEM及EPMA等的数字图象处理系统。它可以简便地接到各种SEM及EPMA上，大大地增强了它们的功能。

　　本系统采用广为使用的IBM一PC系列微机为核心部件，配以A/D，D/A，同步控制等部件，以电镜本身的显示屏作图象显示器件，形成一套相对独立的系统，可以方便地和任一型号的SEM及EPMA联合使用。本系统象素数为256x256，灰级数为256(sbits)。也可以扩充至512x512象素点，如欲扩充至1024x1024象素点，只需加配一块帧存储体板即可。硬件结构框图如图1所示。在图1中各部们的工作原理为:由电镜取得的样品信息(二次电子，背散射电子，样品吸收电流及X光象等电信号)，经A/D转换为数字量后，进人计算机，经软件进行处理后，再由D/A转换为模拟信号。送回电镜中，在电镜的显示屏上显示。同步控制部件使电镜、A/D、D/A、计算机等同步工作。

　　目前，本系统软件采用汇编语文与BAsIC语言混合编程，全部图象处理执行程序均为汇编语言模块，屏幕菜单管理由BAsIC语言模块实现，软件还可方便地与其它软件开发工具(如C、PascaLProlog，FORTRAN等)开发的程序模块接口。

　　软件的功能如F:1.采样图象;2.显示图象;3.图象灰级直方图统计(可在计算机显示屏上作直方图);4.线性变换(灰度变换);5.非线性变换(v调制);6.直方图变换(均衡化);7.反差扩展;8.轮廓;9.灰级图象;10.几何变换〔平移、开窗放大等);”算术变换多幅图象迭加、扣象等);12.线扫描;13.文件操作。

　　以上每种处理功能，在10MHz主频的IBM-PC系列微机上处理256x256象素点，256灰级的图象，处理时间均很短，一般为0.5-2秒，最大者亦少于5秒。经处理后，图象质量有明显的提高.由于本系统无需附加高分辨显示器及其接口板，而直接在电镜的荧光屏上显示图象等，故整套系统较之国外同样功能的数字图象处理附件成本为低.由于采用IBM-PC系列微机，用户可极为方便地根据需要，使用不同的软件开发工具开发自己的处理程序(如快速付利叶变换等)。

　　本系统与电镜接口极为简便，可方便地接人现有的各种型号的SEM及EPMA，使之具备一定的图象处理功能，完成普通电镜的升级改造工作，使电镜的功能增加，提高电镜的使用效果.

　　另外，如用户需要增设假彩色显示功能，则仅需增加一个附件即可。如欲存储多幅图象资料可考虑为用户增设光盘存储设备。