基于Quindos系统的三坐标测量机几何精度误差补偿技术

　　1. 所需标准器及环境要求

　　(1)标准器的选择：激光干涉仪、标准角尺、块规以及标准球(激光干涉仪须经国家相关标准检定合格，实物标准器需在工作台上恒温5h以上)。

　　(2)环境要求：室内温度20℃±2℃，温度梯度每小时不超过1℃，湿度要求为40%!70%。

　　2. 误差检测、启动温度补偿

　　(1)启动测量软件，测量机回零后在编辑窗口下进行误差检查、补偿操作。为确保激光测量数据的准确可靠，需将坐标测量机的运行速度降低。其实施方法为：在编辑窗口输入指令DFNCMMGDBCMMSAVE$CMM后按F11执行当期指令，并进入该指令参数填写窗口，如图1所示。

　　填写完毕后按下小键盘的回车键执行。为确保坐标测量机在固定的坐标系下运行，以保证所测得的误差数据与补偿文件顺序相同，所有的自动运行操作均需在机床坐标系下进行，所以在进行操作前应先调用机床坐标系，其操作方法为在编辑窗口输入指令：USECYS CMMA$CSY并按下小键盘的回车键执行。为保证测量结果的可靠，以及排除环境温度对测量数据的影响，应启用测量机的温度补偿功能，并将所测得的环境变量告与激光干涉仪，使其环境补偿参数与测量机保持一致，其操作方法为在编辑窗口输入指令：①“TMPCOMP,,,,,0.000015，,Y,TEL”并按下小键盘的回车键执行。②ADDEVA TEL并按下小键盘的回车键执行,在EVAl栏依次输入各个通道名词：X、Y、Z、WTEMP，显示环境温度如图3所示。

　　(2)编写X(Y、Z)轴程序线性运行程序。在编辑窗口下输入如图4所示的程序段即可，单行执行程序为光标所在行按小键盘的回车键执行。若执行光标一下至本程序段尾的操作方法为，按下小键盘的Num Lock键后按小键盘的回车键执行即可。

　　(3)从测量机工控机内读出测量机误差修正文件到计算机硬盘上。在编辑窗口输入如图5所示指令，并按下小键盘的回车键执行，即可导出测量机的误差修正文件到计算机硬盘上CORR_116.TXT文件内(注TMP文件夹应为事先创建好的，否则无法执行该操作)。

　　(4)清除所要修正误差的补偿值并保存。将上步导出文件打开，并把对应轴的误差补偿结果清除，另存到对应的TMP文件夹下，起名为：C R R 1 1 6 . T X T(文件名并非唯一)，例如清除TXX(X轴线性误差，见图6)下的SPACING下的所有数据至10000，注意格式，包括空行。将修改后的文件导入工控机内，在编辑窗口输入如图7所示指令，并按小键盘的回车键执行，即可将修改后的文件导入工控机内。

　　(5)针对所编的测量轴程序组合激光干涉仪镜组(见图8)，在装在测量机传感器上的镜组后，首先需对测量机的传感器进行平衡，之后按下操作台按键：LOC与CLP，对测头传感器进行锁定后，方可进行后续操作。运行激光干涉仪进行采样并执行测量机预先编辑程序段。运行结束后将激光干涉仪的测量结果保存，相应轴的rtl文件如图9所示。