基于电流变效应的超精密工件台研究与展望

　　1 引言

　　现代科学技术的飞速发展，对零件的制造精度和加工效率提出了越来越高的要求。作为工作母机的机床，特别是超精密加工机床(如光刻机)的加工速度和加工精度等性能指标已成为衡量一个国家科学技术水平的重要方面。而成功实现超精密加工系统的首要任务之一就是开发和研制高速、高定位精度、高响应速度、高稳定性及大行程的定位加工平台。

　　2 超精密加工平台的现状和发展

　　传统“伺服电机驱动传动定位平台存在以下问题：(1 )丝杠侧隙及滞后，系统非线性，控制环节多;(2 )接触引起机械摩擦，动态响应迟钝，定位时间较长;(3)摩擦产生金属粉尘或为减小摩擦磨损采用油脂润滑等带来了粉尘及油脂污染，严重影响了微电子产品的质量;(4 )驱动系统的弹性致使连接刚度差，高速易发生振动等缺点难以同时实现高定位速度和高定位精度。如Nano-plane Series Model SBS-1200 定位精度只有0.1μm。“直线电机驱动 - 气浮 / 磁浮支撑导轨”传动定位平台的特点：

　　(1 )直线驱动能将电能直接转换成直线运动机械能而不需要任何中间转换机构，避免了中间转换机构弹性、侧隙及摩擦带来的问题，从而起动推力大、传动刚度高、动态响应快、定位精度高、行程长度不受限制;(2)由于直线电机无离心力作用，故直线移动速度可以不受限制;(3)其加速度非常大，最高可达 10g(g = 9.8m / s )，能实现起动时瞬间达到高速，高速运行时又能瞬间准停;(4)气浮/磁浮支撑导轨消除了摩擦和传动装置变形带来的负面影响，适合超净环境等。以上优点使其在国内外得到重视和应用。如Nanoplane SeriesModel SLHU-300 定位精度提高到40nm。

　　然而，与传统的“伺服电机驱动 - 丝杠- 接触支撑导轨”平台相比，“直线电机驱动 - 气浮 / 磁浮支撑导轨”传动阻尼小，抗干扰能力较差，并随驱动功率的增大而变得更差。因为干扰力和负载变化直接影响“直线驱动-气浮/磁浮支撑导轨”传动平台的动态性能，而其固有的高机械刚度不足以与之抗衡，最终极大地影响了高定位精度和动态稳定性的实现。为提高其动态稳定性和控制精度，可采取完全主动控制，提高增益来实现高伺服刚度并进行速度反馈以提高系统的阻尼。然而低速阶段难以得到速度的精确值。另外，由于计算机和放大器的时间延迟，高增益使控制系统极不稳定甚至振动。因此很难同时得到高增益和良好的稳定性。

　　为解决直线电机驱动-气浮/磁浮支撑导轨结构的上述问题，提出基于半主动阻尼的直线电机-气浮/磁浮支撑导轨定位平台。半主动阻尼系统因其具有被动阻尼的可靠性和主动控制需要的可调性，同时不造成大的功耗且软硬件简单目前在国内外引起研究热点，并得到一定程度的应用。通过半主动阻尼结构与控制系统，可实现高速段小阻尼定位段大阻尼的综合阻尼特性。未来基于半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮支撑导轨结构加工平