微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响。通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析。结果表明：液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合。

应用参数摄动法对可压缩N-S方程进行渐近展开，并取其零阶近似对高压下微管道液体流动特性进行了分析。对任意截面形状和面积的微管道，在等温流动假设下将其截面形状、滑移长度等对解的贡献转化为求解该截面的格林函数，并给出等截面圆形微管道流动的零阶近似解。以此分析可压缩性、黏性以及壁面滑移等因素对高压下液体微管道流动特性的影响，进一步揭示了高压驱动下液体微管道流动偏离经典Hagen-Poiseuille（HP）理论的原因。

高效液相色谱（HPLC）中泵的单向阀要承受反复的机械强度压力,故容易发生故障。由于外部漏液会导致泵压明显下降,所以这种情况很容易诊断,然而遗憾的是,泵内部连接的漏液却是比较复杂的,因为此时不会有一个明显的压力下降,所以HPLC软件程序中的诊断算法也无法识别。本文讨论了一个测试发现单向阀隐藏故障并清除故障的方法。

本文通过对粘性流体在圆管中的层流和湍流流量方程对比研究发现，动态流量主要与管道中摩擦导致的压头损失、管道中最大的流速、流体温度变化有关，依据这一原理设计了基于径向基函数人工神经网络（RBFNN）的软测量模型。在伺服阀动态性能实验台上构建了数据采集系统，在新型动态流量测量管上安装超声波、压差、温度传感器来采集各种信息，其中流速信息采用一种新颖的超声波类时差法获取，用于标定的实际流量由无载液压缸的速度传感器获取。基于NeuroSolution软件中的RBF网络模块组成软测量RBFNN，选用部分采集数据作为学习样本对RBFNN进行训练，建立了动态流量的软测量模型。利用采集的数据的测试样本对RBFNN进行测试，通过流量预测曲线和实际曲线的对比，验证了该软测量模型具有很高的逼近精度。该软测量方法为动态流量的测量提供......

对液压系统中多个关键点的压力、流量值进行自动检测，是液压系统状态监测和故障诊断的基础，本文针对某设备状态监测系统中的关键仪器──多点压力流量检测仪研制中的硬件、软件设计和数据处理方法进行了讨论。简要介绍了检测仪的原理，重点说明了仪器硬件、软件结构和检测数据处理等关键问题。根据液压系统工作环境恶劣，各种随机干扰对检测信号影响大等特点，将数据平滑方法用于压力、流量信号检测数据处理中，有效地减小了各种随机噪声的影响，具有很好的效果。

以前，材料试验机的设计要经过先进行静态设计，然后对样机进行测试、改进和辅助动态设计，最后形成产品的过程。产品设计成本高，周期长，见效慢。本文介绍的MDDAS软件中的试验机工业窗口能在样机制造之前预测产品的动态性能，并能方便地改进系统设计。

研究了一种适用于微流体系统的新型无阀微泵．以单晶硅片为材料并采用微机电系统（MEMS）技术制备微泵的泵腔以及扩散口和喷口，选用弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，利用扁平振动马达作为驱动部件，研制出一个尺寸为12mm×12mm×6mm的无阀微泵．分别对微泵的振动频率和输出流量进行了测试，结果显示：驱动电压对微泵的频率和流量均有显著影响；当驱动电压在14～3．0V范围的时候，频率和电压成线性关系；流量随着背压的增加而减小，在零背压下，当电压为1．5V时，微泵的流量达到最大值158laL／min．

针对重型，高精度，六点支撑液压平台的特点，设计了实现平台自动调平的电液伺服系统。

针对某作动筒加载试验台由常温环境转入高、低温环境下试验的需求,笔者对该试验台的安装结构进行了改进,由整体结构改为分体式结构,有效满足了使用要求。

文章论述了高频冲击材料试验机电液伺服系统的构成与工作原理，对冲击函数进行了富里叶级数展开，获得冲击波形的位移、速度、加速度关系式，为系统设计提供了理论依据。