为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性，满足高精度长度尺寸的计量检定要求，研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准，结构设计符合阿贝原则，同时，可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置，提高了测量准确度。并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明，该激光测长机的测量准确度达到了±40．5μm＋1．5×10^-6L），测量重复性为0．2μm。满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求。

为了提高可见光移相点衍射干涉仪的测量精度， 对空气扰动误差的分析以及有效的抑制是十分必要的。 利用自行设计的十三步移相算法与传统的五步移相算法对空气扰动误差进行了理论分析与仿真计算，分析结果证明了新算法的优越性，并且通过对干涉仪的空气扰动误差的分析，最终得到了干涉仪工作的环境控制条件， 如果采用十三步移相算法， 保证空气温度变化控制在±0.005 ℃以内，压强变化控制在±1 Pa 以内，水汽压变化控制在±5 Pa 以内，温度梯度变化控制在 0~0.01 ℃范围内，压强梯度变化控制在 0~2 Pa 范围内，最后再对多次测量结果取平均，则空气扰动误差引起的位相误差将在测量精度允许的范围内。 在现有的实验条件下搭建了原理实验装置，实验结果表明：十三步算法和五步算法的结果相近，但十三步算法的重复性优于五步算法。 采用......

探讨了相关技术在超声信号检波模式情况下对超声信号渡越时间参数TOF(Time of Flight)的估计应用.

为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度，在不增加新硬件的基础上，构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统。并给出了步进电机在开环和闭环状态下的定位检测数据。检测结果表明：该系统明显地提高了步进电机的定位精度，满足了系统对于粗定位平台的定位要求。

摆镜作为稳像系统核心部件,摆镜单元的性能参数和外载荷对摆镜面形的影响为摆镜设计和装配的主要约束条件。在设计约束基础上,对摆镜及其装卡结构材料进行了选择,对结构进行了轻量化设计。为考察外载作用对摆镜面形影响规律,使用接触非线性有限元方法对摆镜组件进行了仿真,使用基于Zernike多项式的光机集成仿真方法消除刚体位移,得到了消除刚体位移后摆镜面形参数。仿真结果表明：外载作用下摆镜刚体位移明显;预紧力作用下刚体平移占据了刚体位移的主要方面;动力载荷作用下,当重力存在于光轴方向时,静力载荷对摆镜面形起主要作用,否则动力载荷对摆镜面形起主导作用。在仿真数据基础上,对摆镜零件进行了加工和装配,对装配后摆镜进行了面形测试,测试结果表明：摆镜面形能够满足设计要求,也说明了摆镜结构设计的合理性和仿真方法的......

利用CoventorWare软件的微机械陀螺仪谐振器系统模型,对其主要参数进行了优化设计,采用交流小信号分析的方法,使驱动模态和检测模态的频率相匹配,提高了陀螺仪的性能,降低了交叉耦合的误差。

硬度综合反映了材料的弹性、塑性等一系列物理性能，是材料力学性能的一个重要参数。传统硬度测试技术在微纳米尺度已不再适用。本文介绍了微纳米尺度硬度的静态和动态测试机理，分析了纳米硬度计的测试特点，并对测量误差产生的可能原因做了说明。最后简要分析了微纳米硬度测试技术的发展趋势。

为了从理论上分析所设计的水阀内置流量传感器的测量精度，本文在对叶片所受驱动力矩及阻力矩进行深入分析的基础上，建立了传感器旋转叶片的受力模型，为水阀内置流量传感器的设计奠定了理论基础。

本文详细阐述了声发射这一新兴检测技术的原理和发展过程,论述了其在锅炉压力容器方面的应用.指出了声发射技术的发展方向.

提出共享测控系统的概念,研究了三坐标测量机的共享测控系统的结构,采用设备端、服务器和用户端相分离的三点式网络结构。用户通过任何接入因特网的计算机访问服务器,即可对挂接在服务器上的各种不同的测控设备进行操作和控制,获得其需要的测控数据。该系统实现了测量设备的资源广泛共享、高效利用和优化组合。