用球筋工作台检定大尺寸量块的新方法

　　接触式干涉仪又名乌式干涉仪,它是检定100mm以下3等、4等量块时主要设备之一,接触式干涉仪一般配有球筋工作台和五筋工作台。在检定时分别用于检定2mm以下和2~100mm量块的长度及变动量。

　　标称长度L≤2·5mm的量块在自由状态下其平面度公差如表1所示,因此国家计量检定规程“接触式干涉仪”中要求,球筋工作台中间宝石球要高于周边筋2~3μm,五筋工作台中间筋要高于其它筋0·3~0·6μm。

　　这样在检定成套量块时,如83块组时就需要更换一次工作台,每次更换工作台后还需要进行对调整,既费时又费力。

　　能否利用球筋工作台进行大尺寸量块的检定呢?通过多次实验我们发现通过降低球筋工作台中间宝石球与周边筋高度的办法来实现利用球筋工作台进行大尺寸量块的检定,从而避免在进行量块组检定时更换工作台,提高检定工作效率。

　　通过将球筋工作台中间宝石球高度调整到比周边筋高出1·2~1·5μm,可完全满足2~100mm量块在量块长度和变动度量等方面的计量检定规程要求。一组3等量块分别在五筋工作台和宝石球高于周边筋1·3μm的球筋工作台上的检定数据,见表2。通过比较表2中数据可发现,两种工作台检定量块中心长度尺寸偏差最大差0·06μm,长度变动量最大差0·04μm。两项数值都小于检定规程中对3等量块长度测量不确定度和长度变动量要求的三分之一,说明此方法进行大尺寸量块的检定能够完全满足规程要求。

　　结论:

　　(1)通过将球筋工作台中间宝石调整到比周边筋高1·2~1·5μm可完全满足100mm以下3等、4等量块的检定要求;

　　(2)调整后的工作台在检定2mm以下量块时应注意量块变形问题,必要时可对量块进行翻面检定;

　　(3)每次检定前应注意球面测帽与宝石球同心度问题,发现不同心时应及时调整,如果同心度存在问题在检定大尺寸量块时由于量块自身重量的影响会使长度变动量超差,造成检定上的误判。

　　中国船舶重工集团公司第七二五研究所