主要介绍了巴歇尔槽的有关知识、智能流量传感器的基本组成、工作原理以及应用范围。基于巴歇尔槽的智能流量传感器已经开始应用于工程项目当中，具有安装简单、通用性强、成本低、易维护、测量准确等优点，具有良好的市场前景。

采用SOI 硅片，基于MEMS 技术，设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器，根据传感器敏感单元的结构设计，制定了相应的制备工艺步骤，并且针对湿法深刻蚀过程中谐振 子的刻蚀保护等问题，提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺，实验表明，在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h 后，谐振子被完全释放，三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测 试，结果表明，在标准大气压力下谐振子的固有频率为9. 932 kHz，品质因数为34。

文中首先介绍了相关流量测量技术的原理，据此研制了由28电导式相关流量计，并已经成功获得现场应用。然后，针对现有相关流量计不能实现单芯数据传输的难题，提出了由38电导式相关流量计，该仪器能够在并下实现两路相关流量信号的采集和互相关运算，并将处理结果转换为频率信号输出；在垂直和水平条件下油水两相流模拟井动态实验结果表明，该仪器输出响应和流量间存在着良好的线性关系。最后，在水平油气水三相流条件下进行了模拟实验，得到了电导式相关流量计的响应特性。

天然气计量系统通常由流量传感器、温度变送器、压力变送器、在线色谱仪和流量计算机组成。其工作原理为:由流量传感器( 如超声波流量传感器、涡轮流量传感器及各种类型的节流装置配合差压变送器)测量天然气的工况流量; 温度变送器测量天然气的工况温度; 压力变送器测量天然气的工况压力; 在线色谱仪测量天然气的组分; 流量计算机接收流量传感器、温度变送器、压力变送器、在线色谱仪的输出信号, 计算天然气在规定的标准状态下的体积流量(标况流量)。

一、热式气体质量流量计工作原理 ST98型气体质量热式流量计是一种用于空气和气体测量应用的热扩散式质量流量计，它由一个流量元件、一个流量变送器和一个封装组成。ST98的流量元件采用的是热扩散技术。热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术，其典型传感元件包括两个电阻式温度探测器（RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当这两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定温差的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流体流动将被加热的RTD上的热量带走，造成两个RTD间的温度差成比例变化，流量计的流量变送器将RTD间的温差转换成一个刻度信号和一个可选择的显示值。

管式差压流量传感器的输入与输出成非线性关系，分别运用了几种不同的数学模型对该传感器的标定数据进行了最小二乘拟合运算，在比较运算结果及误差分析的基础上，找出了适合于该传感器输入与输出拟合曲线的数学模型。

空气流量传感器（AFS）又称空气流量计，是进气歧管空气流量传感器的简称，其功用是检测发动机进气量的大小，并将进气量信息转换成电信号输入电控单元（ECU），以供ECU计算确定喷油时间（即喷油量）和点火时间。空气流量传感器有模拟型、数字型及电位器型几种。

详细介绍了以AT89C51为核心具有RS-485通信接口的流量检测仪设计。流体经过涡轮传感器产生脉冲信号，由于信号的电位漂移现象严重，首先对脉冲信号进行整形处理，然后通过单片机对脉冲计数并转换为流量，最后送显示单元显示。检测仪的设计结构合理，运行稳定可靠，同时具有RS-485通信接口，适合应用于远程分布式应用系统的流量检测。